松夏薄膜氣浮減震器是一種專門設(shè)計(jì)用于提供高精度隔振效果的設(shè)備，它們通過(guò)一層非常薄的空氣膜來(lái)隔離振動(dòng)。這類減震器特別適用于對(duì)振動(dòng)極其敏感的應(yīng)用場(chǎng)合，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)測(cè)量和精密加工等領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造業(yè)：例如光刻機(jī)、電子束曝光系統(tǒng)等要求極高精度的設(shè)備。

科學(xué)研究：包括原子力顯微鏡（AFM）、掃描隧道顯微鏡（STM）和其他納米級(jí)觀測(cè)儀器。

光學(xué)測(cè)量?jī)x器：如干涉儀、激光測(cè)距儀等需要極高的穩(wěn)定性的設(shè)備。

精密機(jī)械加工：用于超精密加工中心，以提高加工質(zhì)量和效率。

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